高纯钨钼靶材制备技术研发
产业分类:高端装备制造产业-智能制造装备产业-智能装备关键基础零部件 需求分类: 技术合作需求
发布方: 预算金额:50
湖南 截止时间: 1970-01-01
需求描述
开发出钼、ITO管靶产品,钼靶技术规格为:OD:40-180mm;ID:125-135mm,长度≤3300mm,纯度:99.95%;ITO靶技术规格为(单件):内径100-200mm,壁厚≤12mm,长度≤250mm,组件总长≤3300mm。开发出上述产品的绑定技术,具体要求为:靶材与背板的同心度不大于0.1mm;靶材粘结层厚度不大于0.5mm;单件靶之间的拼接缝不大于0.4mm;靶材与背板之间的贴合率不少于95%,单个未贴合缺陷面积比率不大于1.0%;不允许出现裂靶、撞靶等现象。 控制扎制板材的翘曲度,
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